NAOC Open IR
大口径粗糙球面的检测
贺俊1; 陈磊1; 李新南2
2009
Source Publication应用光学
ISSN1002-2082
Volume030Issue:006Pages:969
Abstract为了解决大口径光学元件在精磨阶段的检测问题,基于电磁场散射理论,分析了在红外干涉仪测量粗糙表面过程中,所产生干涉条纹的对比度与粗糙表面粗糙度之间的关系,并通过测量不同粗糙表面对这一结果进行了实验验证。利用红外干涉仪测量了280#精磨粗糙球面(Φ=1130mm,R=3600mm)的面形,讲述了测量大型粗糙球面时干涉仪的调整方法。从测量结果可以看出,此粗糙球面具有比较明显的球差,面形峰谷(PV)值为0.526λ(λ=10.6μm),均方根(RMS)值为0.117λ(λ=10.6μm)。
Language英语
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.bao.ac.cn/handle/114a11/46054
Collection中国科学院国家天文台
Affiliation1.南京理工大学
2.中国科学院国家天文台
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GB/T 7714
贺俊,陈磊,李新南. 大口径粗糙球面的检测[J]. 应用光学,2009,030(006):969.
APA 贺俊,陈磊,&李新南.(2009).大口径粗糙球面的检测.应用光学,030(006),969.
MLA 贺俊,et al."大口径粗糙球面的检测".应用光学 030.006(2009):969.
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