NAOC Open IR
基于条纹反射方法的angel型龙虾眼x射线镜片面型测试
张诗鲲1; 黎龙辉1; 孙建宁1; 金戈1; 顾燕1; 吕峰1; 张振1; 姜博文1; 徐昭1; 陈托1; 廖亦戴1; 郭右利2; 凌志兴3; 张臣3
2019
Source Publication光学学报
ISSN0253-2239
Volume39Issue:9
Abstract研制了一套结构简单、易于操作的条纹反射测量系统,用以测试Angel型龙虾眼X射线镜片的面型。通过电荷耦合器件(CCD)相机拍摄40 mm×40 mm口径的龙虾眼镜片的条纹反射图像,计算得到了龙虾眼镜片面型的斜率误差分布,并通过积分得到了龙虾眼镜片的面型误差均方根及峰谷值,分别为0.81 μm和6.34μm。该结果与Zygo干涉仪得到的面型分布规律大体一致。基于条纹反射方法重复测量面型得到的均方根和峰谷值的标准差分别为0.017 μm和0.11 μm,验证了条纹反射方法测量龙虾眼镜片面型的可行性。利用蒙特卡罗方法对待测龙虾眼镜片的面型误差进行X射线聚焦成像模拟,得到面型误差引起的弥散十字焦斑的半峰全宽为0.23 mm,对应的角分辨率为2.11'。该光学测量系统的建立为龙虾眼镜片的球面热成形提供了参考依据。
Language英语
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.bao.ac.cn/handle/114a11/28296
Collection中国科学院国家天文台
Affiliation1.北方夜视技术股份有限公司
2.大连鉴影光学科技有限公司
3.中国科学院国家天文台
Recommended Citation
GB/T 7714
张诗鲲,黎龙辉,孙建宁,等. 基于条纹反射方法的angel型龙虾眼x射线镜片面型测试[J]. 光学学报,2019,39(9).
APA 张诗鲲.,黎龙辉.,孙建宁.,金戈.,顾燕.,...&张臣.(2019).基于条纹反射方法的angel型龙虾眼x射线镜片面型测试.光学学报,39(9).
MLA 张诗鲲,et al."基于条纹反射方法的angel型龙虾眼x射线镜片面型测试".光学学报 39.9(2019).
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